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半導体工場における環境負荷低減活動
安打:
https://www.fujitsu.com/downloads/JP/archive/imgjp/jmag/vol59-2/paper11.pdf
日付リンク:
環境保護装置
2015-11-25 · 製造装置 などを稼働させるために大量のエネルギー を消費している。そのため,微細化技術の推進とと ... コストを掛け合わせたものである。独自に定めた環 境 指標 ...
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